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2015年10月10日 震災から復旧 米沢高等工業学校本館

【キーワード】 スパッタリング


項目
ID⇒#2793
キーワードスパッタリング
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品詞
内容
アルゴンなど電界加速した高いエネルギーもった粒子固体衝突させると固体表面原子分子などが固体表面からたたき出されますこれスパタリング現象いいますその近くに基板などおけば基板の上に原子分子堆積して薄膜形成されますこのような薄膜形成ドライプロセススパタリングいいます1)エネルギー粒子生成マグネトロン使ったスパタリングマグネトロンスパタリングいいます

(1ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学 基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).


参考書籍…山形大学附属図書館
(1) R.V.Stuart著/毛利衛, 数坂昭夫共訳, 入門真空・薄膜・スパッタリング, 技報堂出版, (1985.10).
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