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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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説明
表面処理技術の中で物理蒸着法（フィジカル・ベーバー・デポジション）をいいます1)。化学蒸着法はＣＶＤといいます。

【関連書籍】表面技術入門2)
(1)  > ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学　基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).
(2)  > 表面技術入門
田中和明, 図解入門　よくわかる最新金属の基本と仕組み, 秀和システム, (2007).