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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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【ナレッジ】 熱ＣＶＤ
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親単元セミナー２０１２＠Ｃ１
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説明
原料ガスを高温に加熱して熱的に活性化し、化学反応を促進させ、基材上にコーティング膜、単結晶、ウィスカーなどの析出物を得るドライプロセスです。切削工具の金型や、耐摩耗性コーティング、耐食性コーティングなどに使われます。ＰＶＤや他のＣＶＤにくらべていろいろな金属、合金、セラミックスの析出物が得られるという利点があります。