項目 | 値 |
題目 | フォトリソグラフィー |
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説明 |
1.フォトリソグラフィーのいろいろ レジストを塗布して露光しパターニングする加工技術。
もともとはフォトリソグラフィーでエッチングでグラビア印刷の版を作っていました。プリント基板の製造なのどにも応用されます。
おおくは半導体の集積回路の製造1)2)3)やテレビのシャドウマスク製造などの微細加工に使う技術となっています4)。
光の波長以下では電子描画やX線描画が行われます5)。
【関連講義】
無機工業化学,半導体と印刷技術6)
半導体と印刷、フォトリソグラフィー(2011A)7)
【動画】8)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://a.yamagat…
【動画】9)
ピカッとさいえんす「印刷技術」
http://a.yamagat…
品質管理 > 2007 > 第5講 > 半導体のつくり方, 第5講 品質管理と品質保証立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). 無機工業 > 2008 > 半導体とフォトリソグラフィー(2008), 2008年(H20年度)―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008). 特になし > 電子の波 > 光で加工しよう~フォトリソグラフィー/SEM, 電子の波長とエネルギー立花 和宏, 基礎量子化学, 講義ノート, ( 2005). 無機工業 > 2013 > 半導体と印刷技術, 2013年(H25年度)―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2013). 無機工業 > 2011 > 半導体と印刷、フォトリソグラフィー(2010A), 2011年(H23年度)―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2011). ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). ピカッと > 印刷技術, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).
( 1)  品質管理 > 2007 > 第5講 > 半導体のつくり方, 第5講 品質管理と品質保証立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). ( 2)  無機工業 > 2008 > 半導体とフォトリソグラフィー(2008), 2008年(H20年度)―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008). ( 3)  > LSI製造の前工程西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, , ( 2003). ( 4)  > 高分子化学野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, , ( 2004). ( 5)  特になし > 電子の波 > 光で加工しよう~フォトリソグラフィー/SEM, 電子の波長とエネルギー立花 和宏, 基礎量子化学, 講義ノート, ( 2005). ( 6)  無機工業 > 2013 > 半導体と印刷技術, 2013年(H25年度)―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2013). ( 7)  無機工業 > 2011 > 半導体と印刷、フォトリソグラフィー(2010A), 2011年(H23年度)―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2011). ( 8)  ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). ( 9)  ピカッと > 印刷技術, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). |
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