| 項目 | 値 |
| ID | ⇒#1303@出版物; |
| 要約 | 【出版物】大矢勝らは2009年に洗浄のメカニズムについて洗浄のメカニズム
大矢勝、表面技術
分離型洗浄
溶解型洗浄
分解型洗浄
超音波洗浄
【関連講義】品質管理,ＣＦ基板側⇒#1371@講義;
と述べている⇒#1303@出版物;。
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| メソッド |    ·J-GLOBAL·CiNii/検索 |
| タイトル | 洗浄のメカニズム |
| Title | |
| 代替書誌情報 | 表面技術 |
| 著者名 | 大矢勝 |
| 雑誌名 | 表面技術 |
| Journal | Journal of The Surface Finishing Society of Japan |
| 巻、号、ページ | 60,2,85～1 |
| 出版年 | 2009 |
| URL | http://www.jstage.jst.go.jp/browse/sfj/_vols/-char/ja |
| 研究グループ | 尾形・仁科研究室(旧応用化学C1講座) |
| レビューア | /立花 和宏 |
| 研究ノート | ●表面技術協会 |
| 書誌情報 | 洗浄のメカニズム
大矢勝, 表面技術,60,85(2009). |
| 書誌情報（日本語） | 洗浄のメカニズム
大矢勝, 表面技術,60,85(2009). |
| 書誌情報（英語） |
, Journal of The Surface Finishing Society of Japan,60,85(2009). |
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